出展の見どころ

（株）工苑
	ポジショニングEXPO　No. F-36

〒2130032

神奈川県川崎市高津区久地4-26-41

URL：http://www.koenn.co.jp/

● 担当

機器システム部

TEL：044-811-3421　FAX：044-811-2238

● 出展の見どころ

半導体製造装置や光学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のある、ナノモーション社の超音波モーターとステージ商品群を出展。超音波モーターとはピエゾモーターの一種で、軽量で高い位置制御性を持ち、真空容器内での使用実績が豊富です。
また、製造現場で使われるEtherCAT対応のデジタルサーボドライバ製品（アドバンスド・モーションコントロール社）も紹介します。

● 出展製品

デモ
超音波モータ（ピエゾモータ）SEシリーズ

SEモータは半導体製造装置におけるNanomotion社の超音波モータの豊富な経験を基に開発されました。
高剛性によってサブナノメートルの分解能と1nmの高精度位置決めを可能としています。真空環境に対応し早い位置決め整定時間は、半導体の製造装置や検査装置に採用されています。

デモ
超音波モータ（ピエゾモータ）　HRシリーズ

HRモータにはHR1（駆動力4N）〜HR8（駆動力32N）のモデルがあります。またトルクが少ない時はHRシリーズを複数使って最大128Nまで増やすことができます。モータがステージを押し付けていることにより非通電時でもステージを保持されます。
毎秒数μ〜250mmまでの可変速範囲を持ち、安定した低速移動から高速移動までを可能としています。
大気中から高真空までいろんな場面で活用できます。

デジタルサーボドライバ　FlexPro

アドバンスド・モーションコントロール社の新製品デジタルサーボドライブ FlexPro を紹介します。FE060-25-EMのサイズは、約38.1 x 25.4 x 16.0 mmで手のひらにのせられる程超小型です。この小型ドライブは10〜55ボルトDCで動作し、EtherCAT通信をサポートします。インクリメンタルエンコーダおよびBISS Cモード絶対値エンコーダフィードバックをサポートし、50アンペアのピーク電流と25アンペアの連続電流を供給可能です。この新ドライブは、アプリケーションに素晴らしいパワーとパフォーマンスを提供することを可能にし、操作上の柔軟性を大幅に拡張します。各社DCモータ、ACサーボモータ、ステップモータ、誘導モータに適用可能です。
　定格電力連続（KW）： 1.3、定格電力ピーク（kW）：2.6
　連続定格連続（A）：25.0、ピーク電流（A）：50.0
　ネットワーク通信：EtherCAT、DC供給電圧（VDC）： 10 - 55
　機能安全：安全トルクオフ（STO）

デモ
シャッターユニット　SU6-300

●耐久/耐熱性に優れている金属羽根を採用。
●大口径なので幅広い用途にお使いいただけます。
●大学等で研究用途としても実績がございます。
●少数から販売可能

〇商品詳細
品番：SU6-300
開口サイズ：Φ30　6枚
供給電圧：5.0V±0.5V
コイル抵抗：90±10％
コネクタ：JST　SHR-03V-S
耐振動性：全振幅1mmの振動/毎分1,200~3,000回/上下・左右・前後・20分クリア
耐振動性：60Gの衝撃をクリア
耐連続性（常温）：弊社標準姿勢にて、100,000回（ON/OFFの開閉動作を一回として）
使用温度範囲：-10℃～60℃

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