出展の見どころ

（株）ジェイテックコーポレーション
	レーザーEXPO　No. A-41

〒567-0086

大阪府茨木市彩都やまぶき2-5-38

URL：http://www.j-tec.co.jp

● 担当

営業部一井　愛雄

TEL：072-655-2786　FAX：072-643-2391

● 出展の見どころ

当社では、最先端の研究施設であるSPring-8やSACLAに代表される国内外の放射光施設やX線自由電子レーザー施設で使われる、反射表面の形状精度がナノメートルオーダーの超高精度のX線ミラーをユーザーに合わせて設計し、製造・販売しております。OPIEにご来場の際には、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。

● 出展製品

高精度X線ミラー

ジェイテックコーポレーションの高精度X線ミラーはEEM加工法により、設計形状に対して形状誤差がナノメートルオーダーで製作されます。従来の集光ミラーと比較して集光性能に優れており、回折限界の集光を実現するミラーとして高い評価を頂いております。全反射ミラー方式のため、ゾーンプレートやレンズに比べて色収差がなく高効率です。また、ワーキングディスタンスの自由度も高く、ユーザーの実験設備に合わせた任意の光学系の設計が可能です。

回転楕円ミラー

点光源のX線を点に集光させる理想的な形状は回転楕円形状です。KBミラーは2枚の楕円ミラーでX線を縦方向と横方向に分けて2次元集光する光学系ですが、回転楕円ミラーはそれ1枚で2次元集光を可能とする光学ミラーです。
2回反射のKBミラーに対して、回転楕円ミラーは1回反射ですむので集光効率がより高くなります。また、垂直方向の反射がないため光学系の調整がしやすい(水平方向のみの光学系が可能)という利点があります。一方で、回転楕円ミラーは入射するX線と直行する方向に急峻な曲率形状をもつため、高精度な形状計測が非常に難しいミラーと言えます。ジェイテックコーポレーションでは、急峻な形状でも高精度に計測可能な3次元形状測定機を開発し、高精度な回転楕円ミラーを実現し、世界の主要な放射光施設に納入しております。

KBミラー

2次元の広がり角をもった放射光を集光するため、楕円円筒形状をもった垂直方向と水平方向の2枚のミラーを用いた2次元集光ミラーとしてKBミラー(Kirkpatrick-Baezミラー)が用いられます。KBミラーはその操作性と集光性の高さから、多くの放射光施設のビームラインで採用されています。

2次元ウォルターミラー(回転ウォルターミラー）

回転楕円ミラーを用いることで様々なメリットがあることを前述しましたが、当該ミラーの課題として、光学系や、光源がわずかに振動することで、集光点も振動してしまうというという課題がありました。2次元ウォルターミラー(回転ウォルターミラー）は、回転楕円ミラーと回転双曲ミラーが1枚の基板上に形成されていて、アッベの正弦条件を近似的に満足することができ、上述の問題を解決し集光位置を安定化することができます。ジェイテックコーポレーションでは、理化学研究所SPring8において採用された550mm長さのミラーにおいて、
ほぼ理論値となる集光径を実現しており更なる利用用途の拡大が期待されます。

形状可変ミラー

形状可変ミラーはX線の反射面となるミラー基板の両面に圧電素子を対称的に張り付けたミラーです。18個の圧電素子を設置した形状可変ミラーでは、最大9周期のサイン形状の変形が可能であり、数十マイクロメートル深さの自由曲面形状を作ることが可能となります。従来のミラー形状が固定された集光光学系では、集光ミラーの配置や試料位置(焦点位置)を変えずに回折限界化で集光径を変えることは不可能でした。形状可変ミラーを用いれば光学系の実験セットアップを変えることなく、回折限界下で集光径を自在に変化させることができます。また、形状可変ミラーは集光ミラーの波面補償用にも利用されます。SPring-8における集光実験では従来のミラー集光光学系に形状可変ミラーによる波面補償光学システムを導入することで、X線領域で10nmを切る世界最小集光径7nmを達成しています。

新製品
チャンネルカット結晶

X線ビームを単色化させるために、シリコン結晶を所定の面方位にカットした材料が用いられています。チャンネルカット結晶は一つの単結晶ブロックから切り出されているので、一方の反射表面の回折面（特定の結晶格子面）と他方の反射表面の回折面とは、完全に平行になっています。しかしながら切り出された面が研磨しにくい構造であるため、従来の加工法ではひずみが残っていて、出射されるX線のビーム強度が低下するという課題がありました。ジェイテックコーポレーションでは、大阪大学で開発されたプラズマCVM法によって当該歪を除去することで、X線ビームの強度を維持しつつ単色化にも成功しております。

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