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出展の見どころ

キヤノンマーケティングジャパン(株)

レンズ設計・製造展 No. L-2
〒108-8011
東京都港区港南2-13-29
URL:https://cweb.canon.jp/indtech/apre/

● 担当
産業機器事業部 計測分析機器部 余語 俊一
TEL:03-3740-3334 FAX:03-3740-3446

● 出展の見どころ
▼レーザー干渉計
Apre_レーザー干渉計
DIOPTIC_回折光学素子
▼3次元光学プロファイラー
GBS_垂直走査型低コヒーレンス干渉計
Mountains Map_解析ソフト
▼傷欠陥検査装置
DIOPTIC_最小1umの自動検査装置
▼キヤノン Si&石英ナノ加工ファンドリー
KrFスキャンニングステッパーによる最小90nmのLine & Space
▼非接触測長計
新製品 PD-704

● 出展製品
デモ
Äpre社 干渉計 Sシリーズ

・光学部品のレイアウトと品質の最適化により、干渉縞の増加に伴う干渉計内部のリトレースエラーを最小化、干渉縞に依存しない高精度なデータ、選べる測定口径、独自の外部光源オプション
-コマ収差を最小化:0.012WavePV@1.5Fringe/mm Tilt
-干渉縞0本と500本での差分で、λ/20未満
・回折限界までの優れたイメージング分解
-8本/mm@4.2MPixカメラ
-100μm/100mm口径
・検出干渉縞本数の最大化
-650本/100mm口径
・過酷な振動環境対応キャリアフリンジ測定モード
・REVEALソフトウェア(日本語対応、無償アップグレード)


DIOPTIC社 光学回折素子(DFNL、DTS、DTC)

レーザー干渉計に取り付ける“回折光学素子”により、あらゆる形状の量産計測を非接触・短時間に実現。​

DIOPTIC社製光学回折素子(DFNL、DTS、DTC)は、従来の“TS(球面原器)”と同じ使い勝手で使用が可能。       

自動車通信
gbs社 3次元光学プロファイラー smartWLI extened range

GBS光学式3次元表面プロファイラーは、レンズ金型などの精密加工部品、自動車部品、電子部品、機能材料などの製造工程や品質検査において、表面の凹凸、傷、節目などの表面性状を非接触で測定する計測機器です。三次元表面性状測定の国際規格ISO25178-6(国内規格JIS B0681-6)である垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI)は、観察視野(干渉対物レンズの倍率)に依存しない高い垂直(凹凸)感度が特長です。GBS smartWLIシリーズには、製造現場でのインライン検査、大型の対象物を計測するオンマシン計測、エンジンシリンダーの内壁計測に求められる計測器があります。

デモ
キヤノン 受託微細加工サービス

キヤノン製KrFスキャンニングステッパーと半導体プロセス装置を活用し、試作・開発から量産までお客様のご要望される微細加工を実現します。
石英,Siなど多様な基板の加工が可能です。
充実した設備と熟練のスタッフによる自社一貫工程で、試作から量産まで、皆さまの新技術・商品開発に貢献します。まずはお気軽にお問い合わせください。

新製品
非接触測長計 PD-704

非接触式で生産ラインの搬送物の移動量や速度を高精度に測定できる計測機器です。生産ラインの送りをモニタリングすることで、材料や部品などの効率的な搬送と生産性向上に貢献します。また、キヤノン独自のプロファイルマッチング方式を採用し、対象物の加速度100Gまで追従が可能。プレス現場など急加減速が発生するような生産ラインでも高精度に安定した測定を実現します。光源には白色LEDを採用しており安全にご使用いただけます。

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