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出展の見どころ

キヤノンマーケティングジャパン(株)

レンズ設計・製造展 No. L-2
〒108-8011
東京都港区港南2-13-29
URL:https://cweb.canon.jp/indtech/apre/

● 担当
産業機器事業部 計測分析機器部 余語 俊一
TEL:03-3740-3334 FAX:03-3740-3446

● 出展の見どころ
▼レーザー干渉計
Apre_レーザー干渉計
DIOPTIC_回折光学素子
▼3次元光学プロファイラー
GBS_垂直走査型低コヒーレンス干渉計
Mountains Map_解析ソフト
▼傷欠陥検査装置
DIOPTIC_最小1umの自動検査装置
▼キヤノン Si&石英ナノ加工ファンドリー
KrFスキャンニングステッパーによる最小90nmのLine & Space
▼非接触測長計
新製品 PD-704

● 出展製品
デモ
Äpre社 干渉計 Äシリーズ/ Sシリーズ

「厳格なスペック管理で製造されたハイエンドなレーザー干渉計」
主な特長
・直接カメラに干渉縞を結像することで得られる高解像度
・CNC補正研磨で効果を発揮する少ない画像歪み(ディストーション)
・計測面が蹴斜している場合に発生するリトレースエラーを最小化
・He-Ne光源に加えて、SCI光源、波長変調光源、特殊光源も追加可能
・直観的で視認性の高いソフトウエア(従来のソフトウエアとの互換性あり)


DIOPTIC社 光学回折素子(DFNL、DTS、DTC)

レーザー干渉計に取り付ける“回折光学素子”により、あらゆる形状の量産計測を非接触・短時間に実現。​

DIOPTIC社製光学回折素子(DFNL、DTS、DTC)は、従来の“TS(球面原器)”と同じ使い勝手で使用が可能。       

自動車通信
GBS metrology社 3次元光学プロファイラー smartWLI シリーズ

「高速カメラと大規模並列データ処理によるハイエンド白色干渉計」
主な特徴
・三次元表面性状の国際規格ISO25178-604に準拠
・GPGPUを使用した超並列/超高速処理で測定時間と解像度を強化
・低ノイズで超平滑面の計測に有効なHD-EPSIアルゴリズムを搭載
・超高速プレスキャン機能を活用した”うねりのある超平滑面"の高速計測
・高精度なステッチングを実現するアルゴリズム

デモ
キヤノン 受託微細加工サービス

キヤノン製KrFスキャンニングステッパーと半導体プロセス装置を活用し、試作・開発から量産までお客様のご要望される微細加工を実現します。
石英,Siなど多様な基板の加工が可能です。
充実した設備と熟練のスタッフによる自社一貫工程で、試作から量産まで、皆さまの新技術・商品開発に貢献します。まずはお気軽にお問い合わせください。

新製品
非接触測長計 PD-704

非接触式で生産ラインの搬送物の移動量や速度を高精度に測定できる計測機器です。生産ラインの送りをモニタリングすることで、材料や部品などの効率的な搬送と生産性向上に貢献します。また、キヤノン独自のプロファイルマッチング方式を採用し、対象物の加速度100Gまで追従が可能。プレス現場など急加減速が発生するような生産ラインでも高精度に安定した測定を実現します。光源には白色LEDを採用しており安全にご使用いただけます。

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