出展の見どころ

（株）ウィックス
	レンズ設計・製造展　No. M-23

〒244-0002

神奈川県横浜市戸塚区矢部町12-1 さのやﾋﾞﾙ2F

URL：http://www.wexx.jp

● 担当

営業技術部

TEL：045-870-4784　FAX：045-870-4783

● 出展の見どころ

株式会社ウィックスは下記内容の出展を致します。
・真空成膜プロセスの歩留・品質の改善、維持管理に活躍するモニター機器
In-situ計測用、真空中パーティクルモニタ
Inficon社製質量ガス分析計【業界最先端の性能】
・Inficon社製膜厚コントローラ、膜厚モニター、膜厚センサー、水晶振動子の他
ご来場をお待ちしております。

● 出展製品

真空中パーティクルモニタ

大気～真空中のパーティクルをモニターします。①プロセスチャンバーあるいは排気ラインへの挿入、②チャンバー内への設置に対応し、パーティクルをリアルタイムで計測できます。パーティクル発生状況を監視することで、歩留・品質を左右するパーティクルの対策にご活用頂けます。

インフィコン社製質量ガス分析計（RGA）

インフィコンTranspectorシリーズは、業界最先端性能で、プロセス改善、工程管理に寄与します。用途に応じ蒸着向けMPS/MPH、スパッタ向けXPR3+、複合プロセス向けCPMを取り揃えています。　

インフィコン社製水晶振動子、膜厚コントローラ・モニター・センサー

金、銀、アルミ合金電極の3種類各5MHz、6MHzと、各種膜厚センサー、複雑なプロセスに対応した膜厚コントローラから手軽にご活用頂ける膜厚モニターまでラインナップを取り揃えています。

● ブース訪問予約／お問合せフォーム

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