出展の見どころ

光学式センサを展示します。半導体関連で実績が多く、特にウエハ厚み測定、形状測定で実績があります。高速・高精度を両立させ、インライン組み込みが可能なセンサを提供したり、オフラインで測定時間短縮が可能。ウエハエッジ、バンプ形状が測定できるラインセンサCLS2、Insitu測定可能な厚み測定センサ2IT, 焦点深度の大きい高速ラインカメラ、安価な距離センサ、非接触で不透明体の厚み測定ができるセンサ等。