出展の見どころ

ドイツSmarAct社の正規代理店として、nm精度の位置決めが可能な精密ステージ・アクチュエータを展示します。圧電技術と独自の制御技術により、超高真空・極低温などの環境下でも高分可能、高い再現性と安定性を実現し、光学、量子技術、先端研究分野での導入事例を交えながら、実機デモを通じてSmarAct製品の性能と使い勝手をご紹介します。その他にマスクレス露光装置、プラズマ装置もご紹介させていただきます。