出展の見どころ

神津精機（株）
	ポジショニングEXPO　 No.

〒215-8521

神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15

URL：http://www.kohzu.co.jp/

● 担当

営業部

TEL：044-981-2131　FAX：044-981-2181

● 出展の見どころ

OPIE 2026では、高精度・高剛性を両立した最新の位置決めステージを中心に、光学・検査用途に最適なソリューションを提案します。高精度6軸アライメントや、姿勢変化の少ないXYステージなど、現場の課題に直結する技術を実機デモで体感いただけます。お客様の要求に柔軟に応えるカスタマイズ力もぜひご注目ください。

● 出展製品

新製品デモ
超高精度6軸アライメントステージ

「RSTZシリーズ」はウエハなどの薄型基板をサブミクロンの精度で6軸方向に位置調整することができる画期的なステージです。これまでのアライメントステージは、平面内の調整（X、Y、θz）しかできませんでしたが、「RSTZシリーズ」は駆動ユニットにダブルクサビ方式のパラレルリンク機構を採用したことで、薄型のままで、上下方向（Z）とチルト（θx、θy）の調整も可能となりました。

新製品デモ
高精度300mmストロークXYステージ

全ストロークで安定支持を実現する幅広型Xステージを採用。XY組み合わせ時の垂直方向真直度は7μmを保証。駆動中の姿勢変化を抑え、ワーク位置でも高い位置決め精度を維持します。サーボモーターなど各種モーター変更に対応し、ケーブルベアやリニアスケールの取付も可能です。

新製品デモ
3点支持チルトステージ

ウエハやインターポーザーなどの大型基板のレベリング調整に最適なチルトステージです。駆動軸には当社標準の高精度Zステージを採用することで、ローコストでありながら高分解能なチルト制御を実現。テーブルおよびベースは用途に応じて自由設計が可能です。さらに、支点をZステージ側に変更することで、Z・θx・θyの3軸調整に対応し、回転中心位置も自在に設定できます。

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